炭化硅生产设备

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四、碳化硅产品加工工艺流程 1、制砂生产线设备组成 制砂生产线由颚式破碎机、对辊破碎机、球磨机、清吹机、磁选机、振动筛和皮带机等设备组 合而成。根据不同的工艺要求,各本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域,公开了一种碳化硅生产设备,包括:炉体,炉体内设有用于放置坩埚的容置空间套设于炉体外周侧的加热线圈与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中碳化硅又称碳硅石,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用很广的一。

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