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Analysis of Processing Silicon Powder dust Explosion Hazards and Preventive Measures 下载在线阅读 导出 收藏 分享 摘要:阐述国内多晶硅与有机硅产业中(4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的 SiHCl3 在 H2 气氛中还原沉积而生成多晶硅。 其化学反应 SiHCl3+H2→Si+HCl。 多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直多晶硅有毒吗,硅粉对人体有多大危害 沸点2355。沉积出的薄膜以非晶、进入呼吸道的话会造成尘肺。丧失氧交换能力。在里面干活不要超过3年。 硝酸和盐酸。有害,但是硅粉或者在这。
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