碳化硅陶瓷生产设备

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粉体网:碳化硅陶瓷部件在半导体设备上有哪些重要应用? 刘海林所长:碳化硅陶瓷在半导体制造的前段到后段工艺装备中都有广泛应用,例如在研磨抛光吸盘、光刻吸盘、检测吸盘、精密运动碳化硅陶瓷 碳化硅陶瓷特性与适用分析(文章摘录于《中国设备管理材质学分析》)一、 研究背景及碳化硅材料 1.1 研究背景随着科学技术的发展,特别是能源、空间技术的高度发展,二手碳化硅陶瓷换热器 碳化硅换热器是一种利用碳化硅陶瓷材料作为传热介质的新型换热器。由于碳化硅陶瓷具有耐腐蚀、耐高温、高热导、高硬度、耐磨等优良特性,碳化硅陶瓷换热器适。

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