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本发明涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种用于mocvd设备中的石墨盘。 背景技术： 石墨盘是mocvd设备中非常重要的配件，目前常用的石墨盘都是圆形，在石墨盘上分布有一些圆形的凹槽，这些凹槽即用于放置衬底。
石墨优点 （1）加工速度更快：通常情况下，石墨的机械加工速度能比铜快2~5倍；而放电加工速度比铜快2~3倍 材料更不容易变形：在薄筋电极的加工上优势明显；铜的软化点在1000度左右，容易因受热而产生变形；石墨的升华温度为3650度；热膨胀系数仅有铜的1/30。
桂林在r型磨粉机的基础上进行更新和创新，制造出的石墨雷蒙磨粉机涵盖多项技术，各项性能指标均有了很大的提升和进步，更具有科学合理的工作原理，是加工 600目优质粉体的理想设备。
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机械密封常识机械密封的工作原理 机械密封是靠一对或数对垂直于轴作相对滑动的端面在流体压力和补偿机构的弹力(或磁力)作用下保持贴合并配以辅助密封而达到阻漏的轴封装置。
在我们的周围，换热器的使用是非常广泛的，不同类型，不同材质的换热器有着不同的作用，而小编来为大家介绍下我们的石墨换热器的一些原理及结构优点，希望大家可以参考了解，方便我们以后大家需要选购石墨换热器的时候使用。
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以上是关于可膨胀石墨的原理及特性，希望对您有所帮助。可膨胀石墨将石墨和插层物分别致于一真空密封管的两端 ,在插层物端加热 ,利用两端的温差形成必要反应压差 ,使得插层物以小分子的状态进入鳞片石墨层间 ,从而制得可膨胀石墨。此种方法生产的可 ...
石墨选矿和石墨的深加工 卢先春（学号：；课程名称：矿物工程；授课老师：传秀云） （北京大学地球与空间科学学院） 摘 要 石墨具有一系列的优良性能，广泛应用于石油、化工、冶金、造纸、原子能和国防 等工业部门,具有很大的开发利用价值。
膨胀石墨研磨机械工作原理 - 矿山机械. 工作原理石料研磨机全套配置包括锤式破碎机斗式提升机储料仓震动给料机微粉磨 ... 鳞片石墨的制造方法净精煤及炼制工艺和设备可变形的石墨复合材料可膨胀 石墨的新 ...
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